ka | en
ავტორიზაცია
ფოტოლიტოგრაფია
ავტორი: ზურაბ ყუშიტაშვილისაკვანძო სიტყვები: ულტრაიისფერი, ფოტორეზისტი
ანოტაცია:
თანამედროვე მსოფლიოში მიკრო და ნანოელექტრონული ხელსაწყოების შექმნის და წარმოების მაღალ ხარისხსა და წარმადობას უზრუნველყოფს ფოტოლიტოგრაფია. ამ ტექნიკის გამოყენებით შესაძლებელია მიღებულ იქნეს 10ნმ–ის რიგის გამოსახულება. ტექნოლოგიური ციკლის ამ მნიშვნელოვან მიმართულებას გააჩნია განვითარების კიდევ დიდი პოტენციალი, გამოსახულების კიდევ უფრონ შემცირება ნანოხელსაწყოების მწარმოებელი კომპანიების და ზოგადად სამეცნიერო სამყაროსათვის კვლევის ობიექტს წარმოადგენს.